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2024-01-24 12:49是的，EUV光源相关的技术和设备可以获得专利保护。许多公司和研究机构在EUV光源技术领域进行创新研发，并申请专利来保护其发明和技术。
这些专利可以涵盖EUV光源的各个方面，包括光学设计、辐射源、激光产生和调节方案等。但具体的专利情况可能因为地区和时间的不同而有所差异，建议查询相应的专利数据库或咨询专利律师以获取最新信息。
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