DUV光刻机的许多专利技术已经慢慢到期,也就是说,在不久之后,其他国家也能够根据相关的专利技术进行DUV光刻机的生产。因此,ASML公司必须要在专利技术到期之前赶紧发挥出这类光刻机的剩余价值。一旦专利技术到期,DUV光刻机会面临着较大的减值风险。
属于发明专利的,专利终止日期是二十年;侵没式DUV光刻机技术专利2022年—2023年到期,EUV专利技术2031年—2039年到期,专利到期后国产光刻机才会官宣。
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