沈阳芯源微电子设备股份有限公司很好,该公司成立于2002年,是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业,主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售,芯源微2019年在上交所科创板上市,成为半导体光刻设备第一股,也是辽宁省科创板第一股。
公司主要产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备等,立足自主研发,持续引进行业高端人才,连续承担国家02科技重大专项,通过多年技术积累、创新提高,形成自主知识产权体系。
截至2020年12月31日,芯源微拥有授权专利195项,拥有软件著作权47项,主持制定行业标准2项。公司先后荣获“国家级知识产权优势企业”、“国内先进封装领域最佳设备供应商”、“2018年中国半导体设备五强企业”、“全国第一批专精特新‘小巨人’”等多项殊荣,公司产品先后获得“国家战略性创新产品”、“国家重点新产品”等多项荣誉。
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