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2024-01-19 16:08拥有光刻机专利的有很多国家，比如美国、荷兰、德国、日本、韩国以及中国。
能制造光刻机的国家非常少，但有光刻机专利的国家还是很多的。比如全球唯一euv光刻机是由近十万个零部件组成的，其技术和资金来自四十个国家，以荷兰美德日韩以及台积电为主，其中大部分设备专利为美国所有，大部分加工专利为台积电和三星所有。而我国也有光刻机专利技术，上海微电子拥有2400项光刻机技术专利。
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